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  • 產品名稱：湖北半導體蝕刻機耐高溫密封圈

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簡單介紹：
耐高溫全氟醚橡膠密封圈是一種專為半導體製造中極端工況設計的高性能密封材料，可在300℃環境下長期運行，短期耐受溫度可達330℃，壓縮長久變形率在300℃下70小時後仍低於30%，顯著優於普通氟橡膠。
詳情介紹：
全氟醚橡膠能耐受多達1600種化學品攻擊，包括酸、堿、有機溶劑等，在等離子體環境中抗顆粒生成能力強，確保密封純淨度，具備低壓縮長久變形、高耐磨性和自潤滑特性，減少設備維護頻率，延長使用壽命，降低意外停機風險。
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